二手 CANON MPA 600 FA #293606919 待售

CANON MPA 600 FA
ID: 293606919
Mask aligner.
CANON MPA 600 FA是一種掩模對齊器,能夠將物理圖樣高效準確地轉移到基板上。在IC和薄膜結構的制造過程中,這種裝置對於高效的光刻工藝至關重要。CANON MPA600FA使用光、光學接近校正(OPC)算法和生產晶圓級的組合來操作。首先,光源被設計為徹底和均勻地將抗蝕膜暴露在所需的圖案尺寸。在此步驟之後,使用OPC算法來補償所需設計與實際模式之間的任何差異。最後,生產晶片級提供了一個精確的運動來創建所需的模式.MPA-600FA是一種易於使用和可靠的設備,非常適合先進的加工技術。該設備采用了最新的現代工程技術,包括觸摸屏顯示器、多掩碼、晶圓映射以及高級OPC軟件。這使得每次曝光都能有準確、高效的模式,而且用戶設置極少。從性能角度來看,CANON MPA 600FA提供0.25微米分辨率的卓越分辨率,並具有8 「x 8」的標準掩模尺寸。吞吐量因高速40 msec曝光時間而相當可觀。此外,該設備的設計考慮到了用戶的各種便利,例如自動真空保持系統、自動安全檢查和遠程控制。為了減少維護,MPA-600 FA還提供了一個易於維護的快門單元,其設計可持續多年。最後,機器允許在任何時候輕松升級相機機器,以確保最高的吞吐量。總體而言,MPA 600 FA是一款先進的掩碼對齊器,提供卓越的性能,同時還提供一系列方便功能,旨在使光刻工藝高效且易於使用。
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