二手 CANON MPA 600 FA #293609496 待售

CANON MPA 600 FA是一種全自動步進掃描儀對準器，用於半導體器件制造的光刻工藝。它是一種掩模對齊器，可以將一個在光掩模上定義的圖案精確對齊到一個曝光的光刻塗層晶片上。這是通過將圖樣從掩模投影到覆蓋有光刻膠的晶片上，然後將圖像傳輸到晶片上來完成的。CANON MPA600FA具有智能雙區域掃描系統,可精確定位和對準,非常適合精確的半導體器件制造應用。它具有基於LED的光源,為增強設計分辨率和圖案保真度提供了卓越的亮度水平。內置的自動檢查功能允許自動檢測最佳對齊位置。機器的定義特征包括其高吞吐量、精度和定位精度。MPA-600FA具有± μ 6米激光對準精度，具有精確的對準能力。此外，該系統還支持各種基材，如玻璃、矽片和石英基材。內置的自動檢查功能允許在掃描大型基板時檢測缺陷和小粒度。系統可以加工8英寸至12英寸直徑的基板，無需任何調整。此外，CANON MPA-600FA有一個光機械封裝，能夠通過激光幹涉測量精細對準，提供精確的掩模到晶圓覆蓋對準。它還具有數字聯網功能，允許對機器進行遠程控制。此外,它還支持基於CAD的數據輸入,用於掩碼制造和設計驗證。該機器已準備就緒,可在ATE和對齊器之間提供集成控制。總體而言,CANON MPA600-FA是可靠、精確的半導體器件制造的理想掩模對準器.憑借其廣泛的特性、靈活的基板支撐和精確度，它為制造商提供了一致而精確的結果。