二手 CANON MPA 600 FA #293625511 待售

CANON MPA 600 FA是一種高性能的掩模對準設備，設計用於執行半導體器件制造中使用的圖樣化過程。該系統具有自動、高速和高精度的切割面罩配準機構。該裝置采用空氣軸承安裝級、激光幹涉儀以及同時控制XY和旋轉軸的閉環伺服定位和對準的組合。CANON MPA600FA機具有高精度的精確度和可重復性的模式對準和允許獨立垂直移動的舞臺，使其易於處理探針，針腳和其他模式工具。該工具還具有高分辨率和高對比度的圖像處理資產，使其能夠準確檢測和測量模式中的元素。其先進的光學模型采用6倍F-Theta透鏡，提供高質量的成像，確保光掩模的精確邊緣對準。該設備采用空氣軸承安裝級，提供平滑和低振動級運動，以確保高度精確的對準和打印性能。它還便於維護,並提供長期的可靠性和環境魯棒性。該系統可確保在基板上精確放置圖樣,位置精度為0.5µm。MPA-600FA單元還提供各種高端自動化功能,如口罩制造、圖樣制作、濺射沈積、光刻塗層和蝕刻工藝。這臺機器還提供了快速Aligner™功能,能夠在幾秒鐘內快速檢測和糾正任何模式的錯誤,從而獲得快速而準確的結果。此外,CANON MPA 600FA提供了廣泛的軟件選項和功能,以支持自動化和統一的過程控制。它具有直觀的軟件界面，便於工具設置和編程，還可以與現有的軟硬件系統集成，便於集成和操作。CANON CANON MPA-600FA資產旨在實現快速、準確和可重復的光掩模對準,並實現穩定的生產性能。適用於多種電子和光電應用，是一種可靠、強大的掩模對準模型解決方案。