二手 CANON MPA 600 FA #9016131 待售
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已售出
ID: 9016131
晶圓大小: 6"
Aligner, 6"
Oscilloscope: TEKTRONIX TDS 3012 (Auto alignment signals)
IUC Meter: IUC- M3S
Double / Single indexer
Scan motor
Auto hand turn (unlock like turn table)
LED:
For flat finder with high bearing, 6”
Observation light in alignment scope
Extension cable:
Automatic alignment PCB: 4 x 60 pin
PCB 17 / 18: 2 x 50 pin
Camera / Monitor observation system
Laser adjustment tool
(4) Spare foots
Tube for fill cushion foot
Lamp
Vacuum pump
(2) BD0-5200
BD1-3294
(2) CTC / TDC
(2) Long cables with sensor
Cover with powder coating
Light condition:
Input: 1800 W
Output: 700 mW / cm2 for 1.6 mm slit
Manual included.
CANON MPA 600 FA面膜對準器是利用光刻技術制造產品的重要工具。它是一種全自動機器,專為大批量生產而設計,能夠異常精確的圖案。該裝置采用真空卡盤和抗塗層技術相結合的方式,在各種基板上排列、轉移和發展微觀圖樣特征。該設備同時配備了自動面罩對準系統和智能視覺單元。對準機使用激光定位傳感器,準確定位基板上的對準標記,實現了掩模與層之間的精確配準。視覺工具用於檢測基板缺陷,識別存在於基板上的框架和層數,並計算對齊參數。CANON MPA600FA是一種模塊化資產,能夠同時處理多個基板和掩碼。該模型能夠處理各種尺寸從微米到毫米不等的陣列幾何形狀。MPA-600FA能夠實現分辨率為≤ 8 µm、圖樣偏差≤ 5 µm的高精度圖樣。該設備采用堅固耐用的塗層技術,能夠輕松復制最具挑戰性的圖案。CANON MPA600-FA利用先進的光學對準技術來優化曝光精度並確保統一的結果。該機配有真空卡盤,可在基板加載過程中牢固地固定基板,抵抗施加和暴露後過程。MPA600-FA還支持各種抗蝕劑材料,將光學和物理特性結合起來,以獲得最佳效果。佳能MPA 600FA具有快速處理大批量生產口罩的能力,可顯著縮短光刻周期。此外,系統能夠離線運行,允許用戶一次完成多個生產操作,從而實現更高的收益率。佳能MPA-600FA是滿足大批量生產要求的理想工具。它兼具先進的特點和可靠的性能,是光刻和微加工生產的絕佳選擇。該單元使用簡單,其閉環自動對準使用戶能夠以最小的操作員輸入達到精確的結果。MPA 600FA具有很高的可靠性和高效率,是光刻和微加工應用領域中最佳的掩模對準器。
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