二手 CANON MPA 600 FA #9058852 待售

CANON MPA 600 FA是一種自動的全晶圓掩模對齊器。它是先進的電子設備制造商用來將模式從模板傳輸到基板或設備表面的工具。該對齊器設計用於大面積的精度和精確度，是現代半導體生產的理想選擇。設備配備600mm（23.62"）的大光刻面積和10納米（nm）的分辨率。它具有提高的波長248nm和248nm的模式曝光和對準精度。其專利的「自動對齊」系統確保基板和模板在其掩模階段的快速和準確對齊。該單元包括四個主要組成部分：1）掩模階段：該平臺將模板和基板都放置在光刻區域上,從而確保可重復的精度。其傳輸範圍為300 mm，可以調整以適應不同的基材尺寸。2）照明機：CANON MPA600FA的照明工具,使用先進的光源,為均勻曝光提供超高亮度。它可以產生約10nm的高分辨率成像，非常適合在半導體基板上制作高密度圖樣。3）對齊資產：該模型通過其精確的角平分線和執行器設備提供先進的對齊精度和控制。它允許晶圓級對準和調整,以確保最大程度的曝光精度。4） Z軸單位：Z軸單位保持掩模結構的高度,以便於調節。它還通過獨立的邊緣控制和自動對齊提供了掩碼配準的最佳精度。MPA-600FA是任何先進技術生產的強大工具,旨在提供高精度模式傳輸。其先進的照明、對準和精密系統，加上其較大的光刻面積，使佳能MPA 600FA高精度生產電子器件的理想選擇。