二手 CANON MPA 600 FA #9066663 待售

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ID: 9066663
Mask aligner, 6" Throughput: > 15000 wafers/month.
CANON MPA 600 FA是為高精度並行曝光和芯片直接寫入而設計的掩模對齊器。這種設備是一種全自動設備,專門用於面具註冊、IC封裝和新型設備的開發等廣泛應用。由於其精巧的設計,它提供了極其穩定的成像特性。CANON MPA600FA配備了先進的石英成像燈和專利冷凝器,用於高效的光傳輸。它能夠在一系列基板上保持非常高的掩模配準精度,角度範圍從0到90度不等。這樣可以確保註冊的圖像準確,而不管底物類型如何。該設備高效的光傳輸還可確保快速循環時間和最小的熱預算容忍度。MPA-600FA還配備了先進的微處理器控制曝光系統。此單元包括一臺獲得專利的電光機,可自動計算每張圖像的正確曝光參數。然後,工具從掩模中提取圖像數據,並將其直接傳輸到基板上進行光刻。它還允許通過在需要時自動調整這些參數來進行曝光優化。MPA-600 FA可以手動或計算機控制模式操作。其高精度鏡頭提供1.25 μ m的圖像分辨率。當以較慢的掃描速度(20毫米/秒)操作時,設備能夠達到高達600 DPI的處理速度。資產還包括自己的供暖和制冷系統,這些系統用於隨著時間的推移優化圖像。最後,CANON MPA-600FA設計用於從封裝到電路板開發的各種應用。它為要求最苛刻的應用程序提供了一系列令人印象深刻的功能。例如,它包括改進的基板保護模型、靈活的數據傳輸接口和多個內存選項。這使得它幾乎適合任何應用。
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