二手 CANON MPA 600 FA #9109111 待售

CANON MPA 600 FA是用於納米制造、納米壓印光刻（NIL）和薄膜沈積等應用的最先進的掩模對準器。它采用了業界領先的標準，能夠在亞微米級進行精密制造和分析。佳能MPA600FA的核心是其強大的63-Watt CO2激光，它產生極高的曝光強度和聚焦深度。這使得遮罩圖樣能夠非常精確、均勻地暴露在各種不同的基板上，從光阻晶片到玻璃和矽材料。憑借0.01 µm的高分辨率，它與目前集成電路（IC）設計中發現的大多數特性兼容。此外，MPA-600FA還配備了兩個精密控制的6軸直線電動機級。這些階段允許精確和可重現的指向精度,使其有潛力高速在精細的詳細結構上執行對齊應用。該機由CANON專利的MAVIC/AFH（多軸變化控制和自動對焦高度）技術進一步增強。通過使用內置的自適應傳感器頭和計算反饋，MAVIC/AFH系統允許動態控制運動表，自動防止由於布局設計和基板變化而產生的誤差。此外，CANON MPA-600FA還配備了先進的操作控制系統，能夠方便高效地操作。通過使用EtherCAT網絡，用戶可以輕松地訪問進程控制/監控系統，允許他們從任何遠程連接到機器的計算機監視和控制機器狀態和修改。為保證生產順暢，面罩對準器還配備了加熱真空卡盤和真空泵，它們一起可以沈積恰到好處的真空，以便將基板固定到位。最後,CANON THERMON為掩模對準器提供了高級溫度管理功能。這有助於保持機器各部件的最佳溫度,確保保持曝光精度。因此MPA 600 FA是一種非常通用的精密制造和分析工具。憑借其業界領先的標準和先進的特點,MPA600FA一定會成為各種制造車間的支柱。