二手 CANON MPA 600 FA #9144946 待售

CANON MPA 600 FA
ID: 9144946
晶圓大小: 6"
Aligners, 6".
CANON MPA 600 FA是一種最先進的蒙版對齊器,用於光刻和晶圓圖案。這種類型的對齊器使得可以創建精確的模式,用於半導體芯片、MEM、LED,以及幾乎任何類型的微加工。佳能MPA600FA具有320毫米的基板尺寸、最高的光學精度、高分辨率、高精度、高生產率。其速度也因其5軸運動控制設備的高精度而提高。機器的高精度確保在制造過程的每一個步驟中都能準確地復制圖樣。5軸運動控制系統還提高了精度,為調整過程提供了實時反饋。它采用專有衍射光學元件(DOE)技術進行設計,以提高光刻和晶圓圖樣的圖像放置精度。DOE技術利用了一組非常精確的光學器件,這有助於創建可以從一個晶圓到另一個晶圓非常精確地復制的模式。MPA-600FA具有高分辨率的彩色數字液晶顯示器,為用戶提供易於使用的界面來監控整個操作。此外,它還配有一個集成的激光對準裝置,用於快速準確的基板放置.這臺機器允許用戶在單步中將芯片模式與掩碼對齊,然後多次復制模式的位置。MPA 600 FA還附帶多次通路掃描、波長選擇、曝光優化等幾項自動功能。這些功能提高了制圖的整體效率和精度。總體而言,CANON MPA-600 FA能夠對高質量的微觀圖樣進行微加工,並提高光刻和晶圓圖樣的吞吐量和準確性。其特點使其成為先進光刻和晶圓圖樣應用的理想選擇。
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