二手 CANON MPA 600 FA #9148243 待售

CANON MPA 600 FA是設計用於半導體器件制造的最先進的掩模對準器。它配備了多項高級功能，如高對齊精度、卓越的吞吐量和廣泛的處理能力。該裝置用於將光掩模與半導體晶圓對齊，從而能夠制造復雜、精確的圖樣。CANON MPA600FA采用二維空氣軸承設計,利用空氣將光掩模和晶片從桌子上擡起,確保最大穩定性,同時以精確、協調的方式快速移動兩個組件。這種2D空氣軸承設計保證了工藝的對準精度極高。線性精度是在亞微米範圍內測量的，使得精確的對準能夠以最小的努力進行。面罩對準器還配備了掃描激光系統和高靈敏度光學器件。激光系統將精確瞄準的光束投射到光掩模和晶圓上，即使有微小的圖案也能精確對準。此外,高級光學器件允許用戶一次查看整個晶片,從而使用戶能夠全面查看其對齊過程的結果。MPA-600FA能夠以每秒600幀的速度運行,在生產芯片時提供出色的吞吐量。此外,它還與一系列薄膜和層壓板光掩模兼容,可以對齊各種圖案和尺寸。該裝置還具有高抗機械沖擊的特性，非常適合在各種制造環境中使用。最後,MPA 600 FA配備了一系列軟件功能,例如直觀的圖形用戶界面和用於後對齊分析的各種分析工具。這些功能完善了設備，使其成為目前市場上最全面、最先進的掩模對齊器之一。