二手 CANON MPA 600 FA #9182978 待售

CANON MPA 600 FA掩模對準器是一種全自動立體光刻機，設計用於生產半導體和電子器件的高分辨率光掩模。該機器能夠快速制造各種應用的光掩模,並能夠生產高精度的掩模,從而獲得生產設備的最高產量。該機具有先進的光學設備、計算機數控（CNC）編程和自動場景分析功能。CANON MPA600FA是一種多軸定位系統，采用同步運動技術，對基板進行極精確的遮罩對準。為確保整個掩碼制造過程符合客戶的規範,在生產每個掩碼之前都要執行校準錯誤檢查。該機還配備了視覺對準裝置，以驗證面罩的放置和規格。MPA-600FA的最高速度為每小時4,000次對準,面罩尺寸可達200 x 200 mm。機器的對準精度為0.02 𝜇m焦點深度為0.2 𝜇m。該機還能處理6英寸和8英寸的光掩模。它采用同步氣墊級進行高速運行。該機還支持三維對準，並配有激光模式識別，用於精確對準。MPA-600 FA包含了許多高級功能,以確保設備的最高產量。該機配有內置的熱成像傳感器，可確定面罩制造前後的溫度。這樣可以防止蒙版在生產過程中失真。該機器還包含一個實時成像機器，可以檢測到掩模缺陷的存在。MPA 600 FA設計為用戶友好,並包含一個用戶友好的界面,用於編程和控制機器。該計算機具有直觀的菜單和顯示屏,還具有液晶屏控制面板。機器上裝有警報工具，可以提醒用戶任何機器故障。CANON MPA 600FA附帶了一個全面的軟件包,旨在確保盡可能高質量的掩碼。該軟件允許用戶創建自動模式識別和對齊例程以及自動配方管理。該軟件還允許用戶編輯現有的掩碼設計,並對任何現有的掩碼輕松運行統計分析。該軟件還使用戶能夠存儲、打印和電子郵件掩碼設計。