二手 CANON MPA 600 FA #9250757 待售
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已售出
ID: 9250757
晶圓大小: 5"
Mask aligner, 5"
Cassette type: Single
Mask size, 6"
Slit size: 1.6 mm
Main body:
Illumination system
Alignment scope
Lab unit
Mask stage
Wafer stage
Pre-alignment unit
Auto feeder
Operation panel
Lamp power supply: AC 200V
CTC Unit:
No TDC
AC 200V
Control unit:
AA1
AA2
AA3
AA4
PFD SV Drive
MPU
AS / IL / ML
Mask stage IF
Wafer stage IF (I)
Wafer stage IF (II)
VAC Switch IF
Scan stage
Panel IF
MV/ TT / AF IF
AF MPU III
AF IF2 (III)
Scan drive
DC Power supply
Accessory box 1:
(3) Hoses
Exhaust elbow
Gauge, push arm, focus knob, screws
Pre-aligner
(2) Manuals
(2) T-handlers
Glass mask
Black guide cover
Auto hand
Mask holder
Wafer disk
Accessory box 2:
Monitor / Stand
(2) Wafer chucks
Fan
(2) Cables
Camera
Camera power supply
Slit unit
Light unit-led type
Microscope head
Locking condition:
Main body locking
Lab locking
Wafer stage locking
Mask stage locking
Lens locking
Auto feeder locking.
CANON MPA 600 FA是來自CANON的最先進的掩模對準器，提供高級電子束光刻功能。該設備能夠實現高分辨率成像，在各種基板上均勻的陣列。它采用高精度掃描電子顯微鏡和電動xyz級，為顯影面膜的每一層提供良好的接觸對準和低失真。軟件設備包括一個易於使用的界面,可用於用戶定義的布局設計,並提供多種工具來精確對齊掩碼。該系統與多種薄膜和抗性材料兼容，分辨率低至0.5 μ m，可用於高精度圖樣繪制。該設備還具有廣泛的設備測試和驗證功能，如自動調諧晶片級和自動照片姿態監視器。勺子上的張力，晶圓探針的安裝，以及激光劃線參考線，都可以自動調整，允許精確的掩模對準。此外，室內的高真空環境可以防止環境因素影響電子束的光路。該設備具有較高的吞吐量,易於與工廠自動化機器集成。它旨在在需要高通量光刻時產生高收率並提供一致的結果。它可以容納尺寸最大為8英寸的基板，還配有步進機動化臺階，用於在開發過程中的準確步驟。總體而言,CANON MPA600FA是一款功能強大且用戶友好的掩碼對齊器,可提供高吞吐量和快速周轉時間的精確陣列。它的靈活性和準確性使其非常適合原型和大批量生產運行。
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