二手 CANON MPA 600 Super #293606918 待售

CANON MPA 600 Super是一款先進的口罩對準器，用於制造集成電路。它能夠以高精度對準各種材料。使CANON MPA600SUPER如此強大的功能包括分辨率為5納米的顯微鏡、多個曝光源以及高度精確的閉環定位設備。MPA-600SUPER是一個全自動的遮罩對準系統，可用於對準不同種類的遮罩材料，包括金屬、聚酰亞胺和石英。它使用5納米分辨率的顯微鏡掃描儀，確保掩模和晶圓之間的精確對準。CANON MPA-600SUPER可用於生產各種類型的芯片，包括邏輯、內存和高速處理器芯片。它是為量產和原型設計的，吞吐量高達每小時25晶圓。機器上提供的多個曝光源，包括紫外線光源，使其適合多種類型的光刻應用，包括接觸、投影以及前端和後端工藝。MPA 600 Super包括一個用於精確對齊掩模和晶圓的閉環配準單元。配準機由兩組光學編碼器和一個與顯微鏡掃描儀配合工作的線性編碼器組成，以精確地對掩模和晶片相對於彼此的每一個位置進行配準。這確保了掩模相對於晶片的位置是精確的，這對於可重復的光刻過程是必不可少的。除了先進的掩碼對齊功能外,CANON MPA-600 SUPER還提供多種其他功能,如集成曝光工具、自動對焦和自動校準以及自我校正的自動對齊資產。曝光模型可用於快速準確地將晶片暴露於所需參數，而自動聚焦設備則有助於確保曝光參數與預期曝光保持一致。MPA-600 SUPER可用於大量生產各種芯片。它的緊湊設計使得它非常適合研發項目，因為它可以快速部署到實驗室或生產線。其5納米分辨率、高通量、精確對準系統，使其成為強大的掩模對準解決方案。