二手 CANON MPA 600 Super #9033449 待售
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已售出
ID: 9033449
晶圓大小: 6"
Mask aligners, 6"
Specifications:
Exposure performance:
Exposure field: R 95 mm
Resolution: ≤ 1.4 um
Exposure wavelength: 365 nm i-line, 405 nm h-line, 436 nm g-line
Reduction ratio: x1
DOF: ± 6 um (1.5 um line and space)
Illuminator:
Light source: 2.0 kW Super high pressure mercury lamp
Intensity: 550 ± 50 mW
Uniformity: ± ≤ 3%
Wafer alignment:
Alignment light source: He-Ne laser (633 nm)
Alignment system: HE-NE TV AA
Auto PDC
Alignment accuracy: LBS-AA ≤ 0.54 um; TV-AA ≤ 0.40 um
Scanning mechanism:
Scan drive unit: Scanning the carriage unit by linear motor drive
Scan range: 4", 5", 6"
Scanning speed: 4.0 - 150.0 sec (31.3 mm/sec to 0.83 mm/sec)
Focus error: Arc focus less
Alignment scope:
Viewing scope light resource: Halogen lamp
Erector lens:
Viewing lens: Auto moving
Erector: 1x, 2x, 5x
Mechanical pre-alignment:
Pre-alignment accuracy: ≤ 60 um.
CANON MPA 600 Super是一款電動口罩對準器，設計用於在制作細線圖案時生產8英寸、12英寸、13英寸的圓周口罩。它利用激光自動對焦設備對掩模和晶片基板進行精確對準，並利用先進的電動級控制系統進行覆蓋精度。佳能MPA600SUPER能夠生產最小線寬0.25微米、間距0.2微米的口罩。面罩對準器有一個高度可靠的曝光成像單元，使用一個可調的6激光束編排器，其中包括帶有升高/降低激光線的四激光光柵。激光光柵與電動級運動精確配合，提供非反射加工環境，確保圖像中的高質量圖案。由流程控制的曝光機通過允許用戶快速選擇曝光壓力和步長來適應作業,從而簡化了整個蒙版流程。MPA-600SUPER還有一個對齊監視器顯示,為用戶提供全面的對齊信息。它包括舞臺的操縱桿控制，可以方便準確地放置遮罩和基板。19英寸的大型彩色顯示器還提供了更詳細的顯示,用於對齊過程的更大視圖。此掩碼對齊器具有掃描工具,該工具利用非接觸式直接驅動器編碼器來減少與常規自動對焦系統相關的時間和費用。其步進電機控制在舞臺運動過程中提供精度，在激光光柵調節過程中具有高精度配準。MPA-600 SUPER具有一系列內置的安全功能,旨在在操作過程中保護用戶和設備。這包括在不維護職業安全時防止激光運行的互鎖資產，以及可按下的緊急停止按鈕，以便立即停止運行。總體而言，CANON MPA-600 SUPER是一款功能齊全的電動面罩對準器，專為生產高精度圖案而設計。其組件允許定位精度和曝光精度,而一系列安全功能保護用戶和設備。因此,掩模對齊器非常適合於毫米、厘米和亞微米範圍的應用。
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