二手 CANON MPA 600 Super #9055549 待售
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CANON MPA 600 Super是一款用於半導體及相關行業的高精度光刻的掩模對齊器。它用於制造高分辨率微結構,是許多生產工藝的重要組成部分。該設備采用了先進的四象限掩模特性,具有較高的對準精度和較高的生產率。佳能MPA600SUPER由獨立、高精度的對準系統和高速算法提供動力。它提供了兩個自由度的對齊單元,確保即使有不對稱的圖樣或不同的柵格大小的掩模和晶片的高精度對齊。該機還具有亞微米光掩模尺寸檢測能力,用於非常小的對準目標。MPA-600 SUPER的真空卡盤即使在處理大型基板時也能提供優異的基板保持能力和出色的平整度。該工具的高性能投影光學元件和激光輔助模式對準提供了低成本、高精度的曝光。資產還提供自動化的對齊和曝光控制功能,使處理復雜模式更容易、更高效。佳能MPA-600SUPER還具有若幹安全和環境特點。利用內置的激光安全互鎖模型,防止意外暴露於危險波長。空氣流量傳感器還監測設備周圍的空氣質量,如果檢測到不安全狀況,則關閉設備。最後,佳能MPA-600 SUPER是一個極其可靠的系統。其先進的故障檢測和自動恢復功能確保了高效、長期的運行。由於其強大的設計和用戶友好的功能,該單元提供了較低的維護成本。此外,佳能為其所有產品提供全面支持。總體而言,MPA600SUPER是一款具有高精度和可靠性的高級掩碼對準器。其精密的對齊機床和安全特性使其成為需要高精度光刻的生產工藝的理想解決方案。
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