二手 CANON MPA 600 Super #9057709 待售

CANON MPA 600 Super是專為專業用途而設計的線罩對齊器的頂部。它在光刻和晶圓級封裝技術領域提供了廣泛的能力。這臺機器可以處理各種不同圖樣和厚度的面膜，其尺寸高達200毫米晶圓的三分之一。CANON MPA600SUPER配備了三軸、八區、單面光學設備，提供晶圓上對準標記和器件特征的精確對準。系統的設計允許有多個焦點區域的大場掃描，消除了在晶圓上多次通過的需要。此外,該單元還具有內置的對準標記檢測器,用於精確對準晶圓上的掩碼。該機專為高通量操作而設計，每小時最高可處理3000個晶圓。該機采用了最先進的數字信號處理器和PID控制器,確保了準確一致的過程控制。此外,它還利用獲得專利的射頻阻抗匹配技術進行非常精確的對準.在功能方面,MPA-600SUPER提供了一個完整的列表。它提供1 µm的自動步長；一個三區投影透鏡，用於所有區域的均勻照射；簡化手動對齊的焦點查找器功能；以及用於微調的光學散焦控制調整。它還配備了自動調諧激光器，針對聚焦激光器的最佳強度和光斑大小自動調整。此外，該工具有一個自動化的晶片提升器，使用戶能夠方便地去除晶片並從對準室中裝載它們。此外,它還具有集成的UV二極管激光器,可精確控制曝光的脈沖.總體而言,MPA600SUPER是專為專業用途而設計的線罩對齊器的頂部。它結合了先進的技術和易於使用的功能,能夠在一系列應用中對晶圓和掩碼進行高質量和準確的處理。利用資產獲得專利的射頻阻抗匹配技術和最先進的數字信號處理器,它為高通量操作提供了精確的對準以及快速、一致和可靠的性能。