二手 CANON MPA 600 Super #9179483 待售

CANON MPA 600 Super是由CANON生產的高精度、高速的口罩對準器。這種裝置主要用於各種掩模檢查、光掩模曝光和光敏光學處理，如半導體器件制造的光學曝光處理和光學對準。佳能MPA600SUPER的基本結構主要由光學層壓定位器、主從配置、照明設備和冷卻系統四個部分組成。它可以用於4英寸到12英寸不等的各種晶圓尺寸。MPA-600SUPER的光學層壓定位器設計用於將晶片牢固地固定在適當的位置,以用於暴露於光、灰塵、劃痕和其他汙染物的過程。它配有光學安裝臺，能夠精確對準半導體器件制造所需的苛刻光學光刻。設備的主從配置用於控制光學層壓定位器的運動。它是一種先進的機械控制裝置，即使在光掩模交換操作中也能非常精確地定位晶圓。此精度可確保過程步驟的準確性和可重復性。安裝在CANON MPA-600SUPER的照明機是由高功率氙燈和DUV氘光源。光源在光掩模的整個區域提供均勻和可重現的曝光強度，即使是具有多種分辨率的復雜光刻圖樣也是理想之選。該裝置中還集成了冷卻工具，以保持等離子體腔室溫度在工作範圍內。這有助於在整個暴露過程中提供穩定的工藝條件。總體而言，MPA600SUPER是一項綜合資產，為掩模檢查、光掩模曝光和光刻工藝提供了一個穩定的平臺。它是半導體制造和測試過程的理想解決方案。