二手 CANON MPA 600 Super #9240097 待售

CANON MPA 600 Super是一種用於生產半導體器件的尖端微加工設備。它是一種蒙版對齊器，意味著它被用來精確對齊和曝光光掩模到塗有光刻膠的晶片上。CANON MPA600SUPER的光學放大倍率為40X至100X,精度優於30nm,並且具有4維對準功能（X、Y、θ和Z）。這使得遮罩對齊器能夠在廣闊的視場上以納米精度對光掩模進行對齊。為了保證精確的對準和均勻的曝光，本機配備了高精度級、衍射受限透鏡、光束分裂以及用於像差校正的原始光束光圈。MPA-600SUPER還利用數字線路/空間成像技術糾正對準誤差，並將線路/空間分辨率提高一倍。此外，這臺機器還配備了高強度的鹵化汞光源。這允許高通量曝光和較短的重叠曝光時間進行高清成像。MPA 600 Super還提供了先進的晶圓處理，包括采用晶圓級變形控制機構的晶圓管理系統、晶圓吸力機構和旨在最大限度減少汙染的自動提升系統。這臺機器還提供先進的安全功能,如防反射玻璃和反射光傳感器,可檢測光掩模上是否存在任何材料。MPA600SUPER還具有精確的曝光劑量控制和自動關閉系統，以確保防止過度曝光光掩模。這些特性使MPA-600 SUPER成為生產各種具有非常高精度和可靠性的半導體器件的理想工具。