二手 CANON MPA 600 Super #9286630 待售

ID: 9286630
優質的: 2001
Mask aligner 2001 vintage.
CANON MPA 600 Super是一種用於精確陣列和對齊的掩模對齊器。它是一個完全自動化的下一代平臺,旨在生產具有卓越邊緣敏銳度的高精度設備。CANON MPA600SUPER采用了一種新的全場無鏡頭成像工藝,即使具有厚圖案和復雜幾何形狀,也能實現高分辨率成像。這與新的先進模式識別技術相結合,產生了極精確的對準能力,可重復的精度為1.5 µm。MPA-600SUPER還配備了先進的非接觸式基板處理設備,可消除基板損壞,從而提高產量。多軸設計提供了更好的吞吐量和靈活性,使復雜的陣列和幾何易於接合和精確陣列。系統工具堆棧允許各種定制選項,以適應各種應用程序。MPA-600 SUPER的最大基板尺寸為600mmx500 mm,可以配置多種遮罩格式,從251mm到610mm不等。該裝置具有可變壓力載荷能力和集成的自動聚焦功能。這樣可以確保基板載入正確的壓力,並且光學元件在整個過程中保持一致。該機還具有一個集成的掩模級,用於精確的掩模對準。這使得它非常適合創建大型或復雜的模式。MPA600SUPER配備了一整套軟件來支持模式和對齊。它具有高級PC接口以及自動和手動陣列功能。用戶友好的軟件允許快速、方便地操作工具。此外,CANON還提供了多種其他工具來定制資產,以適應每個客戶的特定需求。總體而言,CANON MPA-600 SUPER是一款功能強大的掩碼對齊器,由於其高分辨率成像功能、先進的非接觸式基板處理模型和刀具堆棧,以及用戶友好的軟件,可根據任何精確的陣列和對齊應用程序的需要進行定制。
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