二手 CANON PLA 500 Series #9007956 待售

CANON PLA 500系列掩模對齊器為精密光刻應用（如超規模集成（ULSI）和高級封裝過程）提供了一種高度可靠、經濟高效的掩模對齊器。PLA 500系列適用於有機薄膜晶體管（OTFT）和3D集成等一系列制造工藝，能夠處理包括聚合物、矽、玻璃在內的一系列基材。CANON PLA 500系列面罩對齊器采用封閉式框架設計,可同時容納標準和定制基板尺寸。它能夠在小於一微米的光斑大小下提供卓越的對準精度。該機還配備了執行預對準的對準傳感器系統，以及兩個軸上的精細對準，以實現對準精度。PLA 500系列還包括一個專用的圖像對準單元,能夠解析每個掩模和基板上的精確坐標。用戶友好的液晶觸摸面板提供了詳細的參數設置和方便的用戶界面。CANON PLA 500系列掩模對齊器為步進改進操作、原始層補償（OLC）、層移操縱（LSM）等高精度光刻過程提供了必要的控制環境。此外，PLA 500系列還包括一個先進的內置甲烷外殼功能，允許更快的處理時間和精確對齊層。CANON PLA 500系列的曝光部分可以配置為在一百四十毫米厚的基板上接受各種類型的口罩如正片和負片。PLA 500系列配備了快速曝光工藝，如集成節能APC（ESAPC）和自動平板曝光修剪（APT），以提高吞吐量。此外，機器還可以接受特定於各種基板的夾具和定制支架，包括扁平芯片、堆叠和層壓基板。它具有集成的心理VAE腔室和高速數據端口，可直接讀取零件。用戶友好的軟件界面允許用戶根據需要調整曝光時間和對齊速率。佳能PLA 500系列口罩對準器也有先進的安全功能。這包括防止在未經授權的維護過程中暴露的互鎖系統，以及確保安全地面的輸入隔離系統。其他安全功能還包括緊急停止按鈕和內置的光學和靜電屏蔽。總體而言，PLA 500系列是生產光刻工藝的經濟高效、可靠、高度精確的解決方案，提供卓越的對準精度、高速曝光工藝以及各種安全特性。