二手 CANON PLA 500F #131142 待售

CANON PLA 500F是為研究機構和生產線設計的全自動口罩對齊器。用於光刻、薄膜沈積、蝕刻、圖樣識別、薄膜對準等多種晶圓應用。PLA 500F的主要組件是控制控制臺、曝光單元、曝光單元2、分配處理程序和支持單元。Control Console配備了大型圖形彩色顯示屏，並提供了多種用於控制設備的選項和功能。它包含易於控制和使用的用戶友好軟件。The Exposure Unit is appeared a 6 inch dia stepper motor that is capable of support 0.25 μ米步進分辨率。The Exposure Unit 2 is a high-speed, thin-film deposition unit is designed for narroger processing domains.它的16英寸dia步進電機允許改進的0.03µm分辨率。分配處理程序是一個全自動交換單元,它將曝光單元和曝光單元2與控制控制臺連接起來。它用於控制薄膜圖樣到晶圓表面的對準和轉移。支持單元是步進電機驅動的機械設備,能夠手動在機器的加工區域中拾取和放置晶片。CANON PLA 500F與各種薄膜和抗蝕劑類型兼容，能夠處理高達150 mm的晶圓。它具有最先進的模式識別軟件，使系統能夠精確對齊和傳輸薄膜模式的基板。該單元還允許可互換濾波器，它提供了廣泛的薄膜厚度。PLA 500F除了精度高外，工藝周轉時間快，為低維護設計。佳能PLA 500F用戶友好、可靠、準確。它具有簡單的觸摸屏界面和易於使用的功能和設置。這允許用戶快速設置和控制整個機器。PLA 500F用途極為廣泛,提供了一系列選項來滿足大多數生產和研究需求。它具有很高的精度和可靠性，是晶圓加工應用的理想選擇。