二手 CANON PLA 500F #293604246 待售

CANON PLA 500F是一種用於制造半導體的掩模對齊器。它旨在有效地對齊半導體基板上的掩模圖樣，並將圖樣精確地傳遞到基板上。PLA 500F是一種利用真空掃描電子顯微鏡（VSEM）精確檢測矽基板的高精度器件。它還采用高速掃描鏡頭和全視野光學系統進行精確對準性能。CANON PLA 500 F的掩模架XY精度為2微米，XY分辨率為0.2微米。它還具有先進的特性，如雙圖案對齊、真叠加和低鰭間距對齊，用於精確的掩蔽過程。VSEM的分辨率為50納米，尺寸範圍為200-500微米。使用的驅動馬達可以達到80微步長/秒的最高速度。PLA 500F帶有集成控制系統,包括基於Windows的GUI、簡單的PC通信接口和直觀的控制軟件。CANON PLA 500F還配備了運行範圍為0.3至1000 G的高速電磁體。PLA 500F利用專有算法和技術提供精確對準,而不會影響速度或精度。這使得它非常適合精確對齊通孔、CMP通孔和小局部層。CANON PLA 500F還支持多種軟件，包括光刻軟件和成像庫。此外，解放軍500F還配備了先進的真空室，該真空室裝滿了低壓，並獲得了危險材料認證。它還配備了先進的冷卻系統，確保溫度保持恒定進行精確對準。CANON PLA 500F是一種可靠、精確的口罩對準工具，對於制造精確的半導體產品至關重要。它是滿足新技術和傳統制造需求的絕佳選擇。