二手 CANON PLA 501 F #293604248 待售

CANON PLA 501 F是一款用於生產用於IC制造的相片口罩的口罩對齊器。具有柔性對準自動機構和高分辨率圖像輸入設備三種定位方式。所需的遮罩圖案直接繪製在標線上，並由遮罩對齊器讀取，然後以三倍於標線解析度產生相同圖案的照片遮罩。該對齊器能夠生產最大尺寸為600 mm、最小線寬為0.1 μ m的內層或外層照片面罩。直線導向機構和高精度步進電機系統支持對準。其最大分辨率為4 μ m,精度為0.5 μ m,對準速度為100 μ m/sec。柔性對齊自動機制提高了設備的掩碼與掩碼對齊精度以及掩碼傳輸產量。設備使用內部對齊柵格,該柵格可進行調整以匹配抵抗圖像。該柵格用於將掩模精確定位到晶片上，精度為40 μ m。高分辨率圖像輸入機用於讀取照片面罩的蒙面層，允許最大圖像讀取30 µm。該工具支持手動輸入和輸出,以及通過通信接口實現自動化。通信接口支持交換工作數據和掩碼圖稿的DSTEP/APPL格式。該設備能夠支持200 mm和300 mm晶圓平臺,高度靈活,易於配置、校準和維護。界面軟件使用方便，提供完整的作業管理。該設備能夠支持廣泛的生產過程，包括前端和後端，使其適合IC制造、光掩模生產或半導體器件維修等各種應用。