二手 CANON PLA 501 F #293824950 待售

CANON PLA 501 F是一種掩模對準器，是用於生產半導體集成電路的先進工具。它是一種先進的、高精度的工具，具有許多根據光刻插圖量身定制的特征，這一過程用於創建微型設計。CANON PLA-501F遮罩對準器提供了一種使用光源和菲涅耳透鏡將圖像傳輸到表面上的精確方法，可以在晶圓上投射圖樣。PLA 501F具有多種特點，可用於半導體集成電路的制造。它具有4英寸的工作場和0到5度的傾斜遮罩架，以提供更好的遮罩對晶圓的曝光。機器還具有高精度級，使對齊器能夠精確移動晶圓（或掩模），以便將圖樣適當對齊到基板上。PLA 501 F的對準精度在其工作場的30%範圍內在2.4 μ m以內。機器本身是為了重復性和耐用性而設計的，要求最低限度的維護。掩碼對準器還包含分辨率高達4 μ m的接觸圖像傳感器。此外,還提供了高達10,000個快門步長/秒的可變快門速度,以滿足最苛刻的曝光要求。此外，高精度步進電機驅動系統和真空臺有助於提高對準的質量和準確性。高性能遮罩對齊器，PLA-501F量身定制，以實現大多數光刻應用。它提供了晶片和掩模之間的精確對齊，並且其功能集提供了各種功能，這些功能可以根據每個工藝的需要進行定制。CANON PLA 501F具有先進的功能和高精度的階段,是創建微型設計的先進工具,能夠創建適合各種應用的高級集成電路。