二手 CANON PLA 501 F #293830593 待售
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CANON PLA 501 F掩模對準器是一種頂級設備,用於光子學、電子和光學等行業的高精度微制造。該對齊器采用自動化和直觀的數字接口設計,非常適合高容量、高精度的生產和研究。佳能PLA-501F有一個12.5厘米(4.9英寸)的平臺,有一個大孔徑的面罩放置和曝光。堅固的曝光室可容納高達8.3厘米(3.3in)的面罩,用於晶圓曝光,可精確生產非常小的特征尺寸。該設備使用獨有的佳能定位控制設備(PCS)進行精確的掩模放置。該系統結合了專有的傳感、先進的機器人技術和創新的機器視覺技術,以確保在曝光周期開始時口罩處於精確位置。PLA 501F提供可靠且可重復的性能,可重復級別± 1.5µm。這樣可以確保每個曝光周期都使用完全相同的設備設置。該設備還具有獲得專利的車載計算機和可編程邏輯單元。這使用戶能夠創建、存儲和監視多種曝光配方,允許針對各種微制造過程進行優化的各種曝光設置和性能指標。PLA-501F配備高分辨率1級激光投影機,分辨率高達1024 x 1024 px。此工具使用戶能夠投影可能需要盡可能高分辨率的復雜微觀結構。最後,PLA 501 F具有非常低的噪音和熱輸出。此功能可最大程度地減少生產中斷,並允許長時間工作,而不必擔心掩碼對齊器的性能。所有這些功能都使佳能PLA 501F高精度微制造和優化生產過程的理想選擇,並在未來幾年中具有可靠和一致的性能。
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