二手 CANON PLA 501 F #66342 待售

CANON PLA 501 F是用於光刻半導體器件的高精度掩模對準器。其設計可達到+/-1.0 μ m或更高的光刻膠圖樣精度,並處理DUV、NUV和I線抗蝕劑。這種高度可靠的精密對齊器為各種半導體器件提供了高分辨率和集成。佳能PLA-501F的低溫範圍為-20至+350攝氏度，非常適合溫度敏感的過程。該對準器采用激光幹涉儀和精密真空晶片級，可實現超細對準精度和快速對準速度。它采用內置的實時缺陷檢查系統,具有高放大倍數選項,並采用自動掩碼處理系統,能夠快速加載和卸載掩碼。PLA 501F配備了先進的計算機用戶界面和全面的內置軟件，提供自動對準、模式平滑、模擬陰影檢查和校準能力。此掩碼對齊器支持多種數據格式,包括AutoCAD DXF、Gerber和WSY文件,以及OPL（光學接近布局）OPL和OPLX。與最流行的光刻系統兼容,PLA 501 F為各種生產過程提供了出色的對準精度。佳能PLA 501F具有較高的吞吐率，適合小規模生產。它擁有較低的成本,包括最低的維護和較低的功耗。PLA-501F配有一系列通用的附件,可用於手動或自動化流程,從而提高了系統的可用性和流程優化。佳能PLA 501 F專為靈活、準確、高效而設計。其強大的設計和可靠性，加上精確的對準，使其成為光刻工藝的絕佳選擇。CANON PLA-501F具有廣泛的功能和處理能力,是市場領先的掩模對齊器,可確保在經濟高效的軟件包中獲得準確的結果。