二手 CANON PLA 501 F #9121428 待售

ID: 9121428
晶圓大小: 4"
優質的: 1998
Mask aligners, 4" Currently non-operational 1998 vintage.
CANON PLA 501 F是一臺先進的光刻步進機,利用精確的掩模對準器在亞微米級創建集成電路模式。它設計用於高精度、連續流處理,能夠以高精度和均勻性產生微小的模式和電路設計。CANON PLA-501F利用步進和重復對齊技術來確保每種模式的應用都具有高度的準確性。該系統采用激光標記技術,有助於在芯片設計中高效、預定地放置圖樣。步進器的光學元件提供高解析度的影像,將影像傳送到掩模階段,並投影到在基板上建立所需圖案所需的精確點。這樣可確保每次都能準確放置每個設計或陣列元素。PLA 501F提供高度自動化,具有多種過程控制功能。其軟件包使用戶能夠對曝光時間、劑量和焦點設置等設置進行編程和控制。此外,它還可以存儲用於批處理的多個晶圓配方。此外,機器可以與外部數據通信系統連接,其LabVIEW軟件使用戶能夠監控整個系統並創建實時修改。PLA 501 F還提供可靠的重復性和精確的註冊。其自動化和可編程的設備對準系統可確保對每個芯片模式應用適當的測量和設置。這樣可以確保每個設計都能在99%的時間內進行復制,從而達到最高精度和產品產量。此外,CANON PLA 501F的快速掃描光學器件允許更高的基板吞吐量和更快的生產時間。PLA-501F是生產高精度集成電路設計的理想選擇。其可編程的過程控制功能、可靠的重復性和精確的基板配準,使其成為現代大批量芯片生產的絕佳選擇。
還沒有評論