二手 CANON PLA 501 FA #293592858 待售
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ID: 293592858
晶圓大小: 5"
優質的: 1983
Mask aligner, 5"
Control box
(2) Accessories packing
Lamp power supply
1983 vintage.
CANON PLA 501 FA是一種用於制造大面積微納米級器件的掩模對準裝置。它被設計用於獲取圖樣化的光刻材料並將其沈積在基板表面上。CANON PLA-501FA是一款具有高度精確度和可重復性的全自動掩模對準器，是大規模生產精密零件的絕佳工具。該機結合了出色的對齊能力和快速可調的參數，如曝光時間和分辨率。PLA 501FA包括高分辨率光學顯微鏡、激光系統和自動對焦攝像機，可以對成品設備進行嚴格的對準和可重復的質量。它利用真空卡盤，使固體虎鉗支撐和X級和Y級的直接運動，精確定位面罩和基板為每個覆蓋。CANON PLA 501FA還具有抗蝕劑分配功能,可在紫外線照射期間實現厚抗蝕劑應用和高速旋轉塗層。這種特性可以對沈積在基板表面的塗層進行極好的控制和均勻性。PLA-501 FA具有開放的光學系統體系結構,能夠支持可用於高精度對準的N系列塊掩模支架。此外,該機器利用各種驅動器技術提供了最大的靈活性,能夠在一臺機器上同時生產多個設備。該機操作健壯高效，提供自動化的電子束控制，高精度的光刻，出色的重復性。它還有一個低殘留的設計，使抗蝕層的最佳附著的基板。總體而言，CANON PLA-501 FA是高批量生產微型和納米設備的絕佳掩模對準器。它在成本、性能和準確性方面提供了極好的平衡,能夠經濟高效地生產精密零件。
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