二手 CANON PLA 501 FA #293621589 待售
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CANON PLA 501 FA是一種最先進的掩模對齊器,它為用戶提供了光刻處理的高精度和精確度。適用於教育和工業應用。CANON PLA-501FA設計用於提供非常高分辨率的掩模傳輸和晶圓定位,對準精度小於3 μ m（或0.12毫米）。它采用對準設備，將4軸行進級與光學傳感器相結合，讓用戶高信度地輕松準確地配準口罩。此外,系統可以同時容納SMIF和ProSTEP格式以及CanLiv 5.5和更大的光掩碼。該單元還提供了其他幾個好處，如其快速晶片加載能力，以及具有33.4 msec曝光時間、3600 X 3600 dpi分辨率和1.2 μ m（或0.049 mils）打印精度的曝光機。在內置安全功能方面，解放軍501FA包括緊急停止開關和燈簾，以及ESD保護和自動維護工具。此外,還根據ISO 9001、EN-9002和JIS標準批準了該資產的安全性。CANON PLA-501 FA利用直驅直線電動機，確保舞臺始終保持穩定運動，消除機械反沖。此外,它還具有內置的濕度和溫度傳感器,可以根據用戶的特定條件和要求進行設置。最後，該型號還配備了防波紋功能，降低了環境噪聲，提高了打印精度和穩定性。總體而言,對於正在尋找可靠、準確和用戶友好的光刻模型的工業和教育用戶而言,CANON PLA 501FA是一個極好的選擇。其各種安全特性和精確對準設備使其成為廣泛應用的理想選擇。
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