二手 CANON PLA 501 FA #293652732 待售
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CANON PLA 501 FA是一種用於生產微電子器件的掩模對準工具。這種對齊器設計用於在制造半導體元件和集成電路器件時,在基板上精確定位光掩模或標線,精度很高。該裝置具有高度精確的光學對準系統和基於CCD攝像機的成像系統。這臺機器的設計目的是通過其自動對齊功能確保掩模放置過程的準確性。CANON PLA-501FA由兩套陡場透鏡組成,每套透鏡包含兩個物鏡、兩個目鏡、兩個光束和一個旋轉的炮塔。光束用於對準目的,而轉塔旋轉使機器能夠與手動或自動操作對準。對齊器的精密操作使它能夠以每秒500個對齊采樣點的速率達到高達20微米的對齊精度。PLA 501FA具有多種功能,允許操作員自定義其對齊操作。這些功能包括用於在放置前旋轉和掃描掩碼或標線的旋轉臂、模模或模對基準對齊模式、背面對齊、圖像傳輸對齊模式和自動對齊模式選擇。對齊器還提供高分辨率蒙版圖像的圖像捕獲功能,用於進一步分析或遵守質量標準。CANON PLA 501FA具有精確和可重復性,是大規模生產微電子器件的理想工具。該裝置能準確對準標線,協助制作模具,提高生產過程中的質量控制。該對齊器還提供了比較對齊功能,以便通過比較同一基板上橫跨標線的光學元件來檢測圖樣之間的缺陷。此外,對齊器很容易集成到現有生產線中,使其成為任何生產設施的寶貴投資。
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