二手 CANON PLA 501 FA #293674409 待售
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CANON PLA 501 FA是一種微光刻面膜對齊器，設計用於電子工業中的圖樣IC芯片。該裝置精度高，能夠控制模式對準，精度高達0.3微米。CANON PLA-501FA是一種用於在矽、聚酰亞胺和Kapton等多種基板上進行直接曝光的掩模對準器。它由一個精密定位級組成，可以在三個軸上移動基板，並與掩模組精確對齊。這個定位級可以支撐直徑最大7英寸、厚度在1-6mm之間的基板。設備采用佳能制造，高分辨率鏡頭組件，數值光圈0.60，投影鏡頭放大倍率0.63，工作距離8.0mm。該鏡頭組件可提供全場紫外線投影曝光，最小分辨率為0.3微米。PLA 501FA具有快速掃描和跟蹤功能，使其能夠在短時間內產生高精度的掩碼。該系統配有佳能制造的光學幹涉儀，用於在每次曝光時監測基板表面的平面、線性和角位移，以確保正確對準。該幹涉儀配有一個高靈敏度的顯微鏡自動對焦裝置，可以精確地將基板表面與掩模組對齊。該機可以手動、半自動或全自動模式操作，使其易於適應各種要求和工作環境。為防止環境汙染，不斷提供由電離器凈化的空氣。此外，紅外照相機被集成到工具中，提供一個覆蓋曝光圖像，可以用來動態跟蹤蒙版在晶圓上的位置和曝光區域。總體而言,PLA-501 FA掩模對齊器能夠提供高達0.3微米精度的模式對齊功能,使其成為電子行業中IC芯片的寶貴工具。
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