二手 CANON PLA 501 FA #293749121 待售

CANON PLA 501 FA是一種先進的用於半導體光刻工藝的掩模對準器。該設備主要用於晶圓制造和包裝工藝。它能夠準確有效地暴露接觸孔、細線圖案和其他關鍵特征。CANON PLA-501FA適用於深層紫外線光刻、電子束光刻、抗熔化和熱處理等工藝。該系統具有精確到5nm以內的永久性對準單元，可實現高精度和重復性。它還具有較高的基板吞吐量,支持尺寸可達8英寸的基板。機器的遮罩級能夠以高達15.6m/s的高速移動，這意味著它可以在短時間內精確對齊和暴露大面積。它還支持自動化的曝光後和烘烤後流程,以簡化工作流程。該工具采用三維激光聚焦檢測處理，以確保對準精確符合要求。PLA 501FA具有高速FPD標準傳輸資產,可以快速傳輸基板而不會刮擦或錯位。該模型配備了數字現場平整設備，可確保在整個基板上保持高均勻性，而不犧牲生產率。該系統設計了一個新的對準階段，提供了一個擴大暴露面積和改善基板平坦度。它可以處理最小線寬為30 nm的圖樣，使其適合於微加工過程。彩色LCD用戶,界面方便操作,並提供有關糾錯和設置的反饋。總體而言,PLA 501 FA是一個可靠、精確、高效的光刻裝置.其先進的特點、生產力和重復性使其成為半導體晶圓加工的理想選擇。它是任何需要精確、可重復和超小型光刻的工藝的理想選擇。