二手 CANON PLA 501 FA #293749124 待售

CANON PLA 501 FA是一種高性能的掩模對齊器，能夠在光刻過程中提供準確可靠的模式對齊。該裝置是一種用途廣泛且先進的對齊器，可以處理廣泛的基材和抗蝕劑。它能夠執行直接成像和基於掩碼的過程,而無需額外的設備。佳能PLA-501FA配備了630毫米的工作距離，可重復的精度高達0.2um，最大晶圓尺寸為200毫米。該設備還具有12英寸的活動區域,變焦範圍至少為8倍。它具有7.250 x 5.250英寸的標準場尺寸和集成的自動對焦設備,可提供掩模和抵抗劑的精確對準。該設備利用G線 （430nm）和I線 （365nm）源進行曝光,每次拍攝的最大對準速度為0.05 ms。它還具有直接成像模式,能夠提供單一曝光、多曝光、幻影和幻影曝光過程。該設備具有易於使用的圖形用戶界面和靈活的配方編程、PC遠程軟件和用於系統聯網的Web服務器。它有一個內置的HIAC監測單元，用於監測流程結果。此外,該設備具有廣泛的曝光後烘烤平臺,允許使用一個設備測試不同的抗蝕劑厚度。它還有一個晶圓對齊機，減少了光刻過程中所需的掩模數量。總之，PLA 501FA是一種功能強大的高性能工具，能夠執行高精度的光刻工藝。它具有廣泛的功能和工具，如直接成像、多曝光、G線和I線源、HIAC監控工具以及晶圓對齊資產，使其成為掩模對齊器的絕佳選擇。