二手 CANON PLA 501 FA #293757355 待售

CANON PLA 501 FA是一種面罩對準器，設計用於光刻制造電氣結構。這種裝置用於將復雜的圖樣結構精確打印到包括矽和砷化的半導體材料上。它利用可編程的光學對準設備在工件上精確對準光掩模。這種精確的對齊方式可以精確打印高分辨率結構。CANON PLA-501FA是一個可編程系統,具有廣泛的設置。可用於調整曝光時間、聚焦和掩模對準，以確保光掩模的精確放置。這一單元還包括一個空氣軸承階段，其精細和粗糙的對準，可以方便步驟暴露，從而允許產生多層次的表面圖樣。除了其精確的掩模對準能力，本機還包括一個先進的曝光工具，可用於優化曝光劑量和均勻性。它具有從10mJ/cm2到3,000mJ/cm2的長曝光範圍,因此可以滿足各種曝光要求。曝光資產還包括一個統一的標定階段，為復雜的層層曝光提供精確和可重復的曝光。PLA 501FA還集成了可用於設計掩碼模式的軟件。此軟件允許創建具有廣泛優化規則的復雜而詳細的結構。設計完成後，圖樣可以精確地印在基板上，精確的對準和曝光。PLA-501FA是一個功能廣泛、功能強大的模型，非常適合精密光刻。其可編程設置、對準精度和均勻性校準，以及模式設計軟件，使其成為工業和實驗室使用的有吸引力的裝置。