二手 CANON PLA 501 FA #293763589 待售

CANON PLA 501 FA是一種全場激光輔助對準（FA）掩模對準器，功能層尺寸為12微米，步進分辨率為12.5納米。這種遮罩對準器適用於高分辨率光刻，以及超精確的制造。CANON PLA-501FA掩模比對器的主要應用之一是集成電路（IC）的制造。它廣泛應用於半導體光刻工藝中，因為它的工作面積大、全場聚焦、高精度能力有利於高性能IC的制造。PLA 501FA具有25點X-Y級、六個主動對齊模式位置和兩個掩碼更換器。這樣可以實現並行對齊和陣列化功能,大大提高吞吐量並提高總體生產率。掩模對準器的12微米點大小確保了超高分辨率和精度，而12.5納米步長分辨率提供了高級應用任務所需的準確性和可重復性。PLA-501 FA是一個強大可靠的系統,具有多種強大的功能,包括內置的跟蹤模式分析儀和圖形用戶界面。跟蹤模式分析器允許可視化模式的地形，而用戶界面簡化操作。該系統具有較高的光電電流，能夠在不產生任何伴隨失真的情況下對光掩模進行大劑量曝光。這有助於以最小的失調和失真獲得優異的效果。CANON PLA-501 FA還配備了可選的軸上數字保護元件（OPE）對齊器，在將數據從IC設計傳輸到晶圓圖樣時允許精確的數字保護元件（OPE）對齊。這樣可以確保源和目標數據可以完美傳輸,同時在整個光刻過程中保持準確。PLA-501FA與廣泛的光掩模和抗蝕劑兼容，可以處理各種光刻應用。它還具有智能對齊功能,減少了手動對齊所需的時間和工作量。總體而言，CANON PLA 501FA具有高分辨率和精確度，是光刻應用的理想選擇。其強大的功能、強大的功能和多種功能使其成為滿足任何IC制造需求的可靠且高效的掩碼對齊器。