二手 CANON PLA 501 FA #293819190 待售

CANON PLA 501 FA是為光刻設計的最先進、高精度和高度自動化的掩模對齊器，用於光刻和直接書寫應用領域。它是一個全自動設備，有一個大的工作室，可以容納和對準多達6英寸的晶圓通過激光檢測和對準技術。CANON PLA-501FA可用於各種類型的應用，如細間距混合電路和高級封裝、SMD/COF/微電子/MEMS、OPC和反向雕刻、光掩模/貼花制作、平板顯示器，采用激光圖樣發生器系統和減磁光學。PLA 501FA配備了遮罩級和卡盤，確保了高對準精度和出色的重復性。它的設計包括一個photonix™的線性編碼器（LEN™）和一個特殊的焦點控制單元，以確保在任何給定的應用程序上具有高度精確的晶圓平面性和高可重復性。激光探測器由探測器陣列、電子快門和投影光學器件組成，允許在納米精度範圍內實現高精度對準和可重復性。PLA-501FA配備了用戶友好型10.4英寸觸摸屏操作面板,可用於交互式對齊和輕松操作。此外,它還具有串聯數據處理、對準過程自動校準和遠程機器控制功能,非常適合生產線應用。PLA-501 FA與大多數現有的光刻軟件應用程序兼容,包括CANON自己的Echo™軟件,它可以幫助簡化從設置到曝光的整個光刻過程。CANON PLA-501 FA是先進、經濟高效的光刻解決方案的理想選擇，適合多種應用。其卓越的性能、用戶友好的操作、高吞吐量和集成能力使其成為產生高質量結果和提高生產率的絕佳選擇。