二手 CANON PLA 501 FA #9099865 待售
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CANON PLA 501 FA是一款設計用於電子元件生產的高精度口罩對準機。這臺機器用於光刻,這一過程涉及將圖樣轉移到基板上以創建復雜的電子電路圖樣。為此,CANON PLA-501FA使用了兩個光束系統,一個用於曝光,另一個用於對齊掩模。這種設備允許極其精確的模式生產,使解放軍501FA微電子生產的理想選擇。PLA-501 FA配有兩根光束和透鏡,可以將圖樣投射到晶圓上。該機器有雙加爾沃掃描儀對準面罩,並設有真空頭用於保持和安裝(TMH)面罩在其精確的位置。其中包括一個可調節的加熱系統,以保護過程中的細膩基板。該機還具有真空壓力控制和自動夾緊裝置來精確定位晶片。CANON PLA-501 FA可執行高達40 nm的微觀模式精度,投影波長為365至455nm的模式。機器也具有較高的吞吐量,最多12個晶圓的處理時間為5秒或更短。為了實現可重復性,這臺機器采用了一種高精度的對準工具,並在100 um的區域內進行了糾錯。雖然這個資產很復雜,需要熟練的操作員,但是很容易設置和操作。PLA-501FA的設計非常耐用和高效。機器有一個堅固的框架,可以承受大負荷的晶圓和其他基材。內置的安全措施使操作員能夠工作而不必擔心損壞或超載模型。CANON PLA 501FA是工廠制造電子元件的寶貴工具.其高精度的模式創建和準確性使其成為創建復雜模式的理想選擇。該機器強大的設計、安全措施和高效的吞吐量使其非常適合任何光刻需要。
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