二手 CANON PLA 501 FA #9144944 待售

CANON PLA 501 FA是一種自動化的掩模對準器，專門為獲取光刻應用中高質量、高精度的光掩模曝光而設計。它能夠提供具有最小失真和織帶的高精度口罩。此對齊器有助於提高流程吞吐量、提高光掩碼的準確性,以及在光掩碼上精確定位帶光標的結構和圖案。對齊器配有5 MP成像儀，16 "x 12" FOV，允許高達0.000004"的定位和對準精度。增強的智能階段使掩碼註冊的準確性低至0.000063英寸,並加快了流程。各種對齊器可與此對齊器結合使用，包括晶圓步進器、步進器和掃描儀，以及直接寫入系統。CANON PLA-501FA的設計旨在通過高精度曝光來減少工藝時間和提高光掩模精度。它還提供了一個集成的高精度自動對焦光學系統，以消除失真和織帶，同時保持精確度達到所需規格。直觀的用戶界面加上易於操作的儀表板,簡化了操作,有助於實現高效且合規的流程。對齊器提供多種配方和功能比較,確保每個應用程序的最佳設置。PLA 501FA旨在滿足嚴格的流程要求,並提供滿足這些要求的高性能解決方案。對齊器是高容量光刻和精密應用的理想選擇。該對齊器具有多種功能,可確保卓越的精度、可靠性和性能。