二手 CANON PLA 501 FA #9226071 待售
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CANON PLA 501 FA是一種計算機控制的口罩對準器,設計用於處理和對準電子設備。該裝置的對準精度是為了滿足先進工業的要求而設計的,如高密度邏輯集成電路和混合電路基板。CANON PLA-501FA可以提供所需的精確對準精度和最大吞吐量,以及對不同基板的支持。解放軍501FA采用6英寸對準平臺,可重復性精度為2.7微米。有雙參數化對焦設備和高精度V槽電動級,為基板對準提供必要的精度。對準器還具有可調聚焦光學系統,可幫助調整基板頂部和底部的聚焦,從而提高對準精度。該對準器還裝有自動晶片裝載機,便於裝載和卸載基板。PLA-501FA還為不同的應用程序提供了廣泛的操作模式。這些功能包括Red-Green (RG)功能、用於具有復雜晶圓模式的基板的Global Align (GA)功能、用於具有局部模式的基板的Local align (LA)功能,以及多種對齊功能。高級模式識別模式還允許用戶在單個步驟中加載大量模式。通過CANON EPSOFT軟件控制PLA-501 FA。此軟件提供自動基板、模式和工藝選擇,還允許手動輸入數據。軟件允許對每個工藝進行即時記錄,包括底物、工藝和跟蹤名稱的詳細信息,以及動態更新與底物註冊和對齊有關的統計信息。綜上所述,PLA 501 FA是為電子設備的高精度對準和處理而設計的計算機控制掩碼對準器。它具有6英寸對準平臺,2.7微米可重復性精度,雙參數化對焦單元,可調節對焦光機,先進的模式識別模式,以及佳能EPSOFT軟件。它非常適合用於高密度邏輯集成電路以及混合電路基板的先進制造。
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