二手 CANON PLA 501 FA #9226309 待售

CANON PLA 501 FA是一款高精度、全自動的掩模對準器，最大場為1000 mm x 1000 mm。它非常適合先進的晶圓加工，是電子工業中集成電路（IC）制造的理想選擇。CANON PLA-501FA配備了CANON先進的光刻技術，可實現卓越的叠加精度和效果。其懸臂設計確保了出色的均勻性,並確保光刻光刻工藝在整個芯片生產線中始終可靠。PLA 501FA還提供卓越的熱校準和緩解,提高產品壽命和確保峰值性能.強大的電機驅動系統可確保精確的龍門移動和精確的掩模位置。雙快速釋放夾具可方便地在光掩模之間切換,從而實現快速高效的光刻處理。此外,CANON PLA-501 FA還具有兩個最先進的清潔系統。一種新型的濕式噴霧清洗機制可清除殘留的抗蝕劑和有機材料，而液體取樣系統則可提取任何揮發性汙染物。此外，面罩對準器還配有傳感器，用於監測溫度和壓力，以提高顆粒控制水平並提高產量。PLA-501FA還提供全面的高級安全功能。一系列聯鎖裝置旨在保護用戶免受危險化學品的危害，如果檢測到任何危險，內置的自動關閉將停止操作。一個清晰的安全鏡片減少眼睛受傷的風險。PLA-501 FA提供了無與倫比的精確度和可靠性。其先進的光刻技術、全面的安全特性和精確的電機驅動系統，確保了晶圓的高效加工和優越的產量。