二手 CANON PLA 501 FA #9226338 待售

CANON PLA 501 FA是一種高度先進的掩模對準器，設計用於半導體工業。它被用於光刻技術中，以精確定位光學掩模和轉移模式到基板上。對齊器提供了卓越的精度,提供了高水平的可重復性,對齊精度為50 nm。CANON PLA-501FA利用了一種放大倍率為10倍至30倍的先進投影顯微鏡，它由雙目顯微鏡、圖像拾取裝置、安裝臺、分束器、光學中繼設備和遠心透鏡組成。顯微鏡采用獨特的HAD折反射光學系統，提供卓越的對比度和分辨率。顯微鏡還帶有自動定心功能和自動對焦功能，以確保盡可能高的精度。PLA 501FA能夠處理不同的基材，如玻璃、矽、低k電介質和陶瓷基材，以及提供對準測試結構。對齊器還配備了空中成像裝置，用於檢測晶圓上的對齊標記。機器由數碼相機、步進電機、Z驅動器和轉盤執行器組成。PLA-501 FA有一個工具控制器,它具有觸摸屏界面,可控制整個對齊過程。它帶有許多板載程序,可用於優化對齊過程。該控制器還具有一整套對準工具，包括光學邊緣檢測功能、非對稱對準功能和獨特的邊緣檢測程序。CANON PLA 501FA對齊器非常適合在大批量生產環境中使用,因為它能夠提供高吞吐量速度和出色的對齊重復性。該資產效率很高,可提供5秒以下的令人印象深刻的周期時間,典型吞吐量高達每小時250個晶圓。總體而言,PLA-501FA是一款非常先進的掩模對齊器,能夠提供卓越的準確性,適用於大批量生產環境。