二手 CANON PLA 501 FA #9239727 待售

CANON PLA 501 FA是晶圓粘合和光刻市場的全自動、高精度、經濟高效的掩模對準器。蒙版對齊器具有強大的高速圖樣,最大對齊精度± 0.2 μ米。搭載8「至12」的口罩介面卡，與各大口罩製造商的全尺寸口罩相容。這臺機器有助於在所有三種曝光方法上實現高於0.4 μ米的對準：可見、正常或先進。機器的自動化設備為用戶提供了一套完整的控件，用於對齊面膜上的光刻抗蝕劑和基板，允許用戶實現高度均勻對齊的可重復模式。自動化的過程使精細圖案與均勻的螺距對齊,也允許抗蝕劑圖案與各種厚度的基板圖案對齊。這樣可以確保最高精度的對齊方式,同時確保對齊方式穩定一致。機器的高功率光學系統可確保圖樣精確投影,並在掩模平面上提供均勻的照明。這樣可以確保模式分辨率是最高質量的。CANON PLA-501FA面罩對齊器還具有橫向移位選項,允許在出現意外問題時調整模式投影。PLA 501FA面膜對準器針對濕蝕刻工藝進行了優化，包括了多項安全功能，以防止交叉汙染。再者，操作員可以從控制臺遠程控制機器設置，允許操作員在無需人工幹預的情況下監控機器的操作。最後,機器還提供高級維護功能,這些功能旨在最大程度地減少停機時間並確保機器始終處於峰值狀態。所有維護活動均已記錄,可以咨詢以確定任何潛在問題,從而能夠及時修復這些問題。總體而言,PLA-501 FA掩模對齊器是尋求可靠、高精度和經濟高效的光刻解決方案的光刻師的絕佳選擇。其自動化單元、強大的光學機器以及先進的維護功能確保了本機在競爭中脫穎而出，是任何光刻師的智能選擇。