二手 CANON PLA 501 FA #9269096 待售

CANON PLA 501 FA是一款緊湊、全自動的口罩對準器，專為方便口罩圖案和光刻而設計。這種掩模對準裝置具有集成的激光對準設備，具有五微米精度和全自動對準程序。遮罩對準器使用雙彈簧步進電機級機構,以精確地對小體積基板以及尺寸不超過6英寸的較大基板進行陣列設計。此外,501 FA能夠對單層或多層導電和絕緣材料進行陣列設計,而無需額外的提升過程。佳能PLA-501FA有一個用於低溫處理的超高真空系統以及一個電子束源和多個可編程曝光透鏡。雙教育單元包括相移對準和窗口對準，以確保對準小於一微米的特征時的最大精度。一個附加的小面積映射（SAM）機器允許PLA 501FA在精密設備上增加模式密度。此外,掩模對準器還配有二維力傳感器,可自動監控刀具的狀態,以及各種高分辨率標線,包括氮化物上的鉻和鉻。PLA-501 FA是完全自動化的,非常適合集成電路和其他需要更精確光刻的模式。掩碼對齊器的所有功能都是自動化的,無需手動操作和較長的設置時間。此外，機動化級具有旋轉90度的能力，以提高生產率和準確性。其他功能包括直觀的人機界面、廣泛的成像光學器件以及來自高性能蝕刻解決方案的各種陣列解決方案。CANON PLA-501 FA專為包括Cu和Al層在內的多種材料的精確對準和陣列設計。該工具還能夠進行亞微米光刻，使其成為各種掩蔽和光刻應用的理想選擇。此外,它還內置了多個吞吐量和自動化處理技術,使其成為經濟實惠的掩蔽解決方案的理想選擇。此外,它的用戶友好界面使它易於編程和操作,使工程師可以在任何級別使用它。簡而言之,CANON PLA 501FA是一款先進、可靠且易於使用的掩模對準器,為小型和大型光刻及圖樣設計應用提供了高精度和靈活性。