二手 CANON PLA 501 FA #9276651 待售

CANON PLA 501 FA是一款用於制造半導體器件的頂級面罩對齊器。遮罩對準器利用激光光束的光學系統進行圖樣投影，步進電機進行圖樣傳輸。這允許在光刻過程中將掩模圖樣精確對齊基板圖樣。準確的模式傳輸對於設備生產至關重要。佳能PLA-501FA提供卓越的吞吐量以及出色的模式註冊。其光學系統波長為355 nm，步進電機的運動增量為0.6 μ m。遮罩對準器的最大幀大小為450 mm x 450 mm。就精度而言,掩模對準器提供0.2 μ m的定位和線寬分辨率。PLA 501FA還設計用於最大程度地減少顆粒汙染。它配備了粒子消除濾波器模塊和放電快門。這允許在掩模對準器內的密閉區域中清除空氣中的顆粒。此外,掩碼對齊器還提供高速掃描功能。全尺寸250 mm x 250 mm幀的掃描時間為0.1秒。PLA-501 FA的整體設計是緊湊、用戶友好的設備。它提供了一個符合人體工程學的控制面板、一個微處理器接口和一個簡單的設置功能，允許快速和平穩的操作。此外，掩碼對齊器還附帶一個數據記錄器，允許用戶記錄光學系統數據並長期跟蹤。總而言之,PLA 501 FA是一種高度可靠和高效的掩碼對齊器。它的精度、速度和汙染控制使得它成為許多半導體公司的理想選擇。對於那些需要在最短的時間內生產出最優質元件的人來說，這是一個絕佳的選擇。