二手 CANON PLA 501 FA #9289791 待售
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CANON PLA 501 FA是一種掩模對準器,用作制造先進半導體器件的光刻設備的一部分。它常見於制造芯片和其他微型電子元件的生產環境中。掩模對齊器能夠以非常小的比例在矽、鋁和其他材料制成的晶片中塗抹圖樣。劃線是使用激光完成的,激光通過掩碼聚焦,掩碼包含設備所需元素的圖案。然後使用掩碼對齊器將掩碼中所需的元素與劃線晶片對齊。該系統由四個主要組成部分組成:掃描儀、步進器、分析儀和投影單元。掃描儀負責校準掩模對準器的光學元件,以確保機器正確對準。步進器負責將蒙版從一個位置移動到另一個位置上的劃線晶片。分析儀負責測量激光的強度和檢測模式的變化,必要時進行校正。最後,投影工具將遮罩投射到晶片上,確保正確的元素被轉移。該資產可以處理直徑不超過8英寸的晶片,並且能夠達到0.004微米的分辨率。它還設計用於潔凈室,因為它需要一個幹凈的環境來正確地書寫和轉移元素。此外,該模型能夠同時對齊多達12個掩碼,這意味著它可以快速生產大容量、復雜的設備。總體而言,CANON PLA-501FA是一種高度精確、通用且高效的掩模對齊器,能夠在多種材料上生產各種復雜的設備。它是生產環境中的一個有價值的工具,允許進一步小型化和增加設備的復雜性。
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