二手 CANON PLA 501 FA #9384106 待售

CANON PLA 501 FA是一種自動激光曝光設備，設計用於一步光刻工藝。它是微電子器件、納米技術、光子學和光電子學高級研發的理想工具。該系統由投影儀和舞臺兩個部分組成。投影儀模塊是由波長為532 nm的固態激光器驅動的高精度光學單元，由步進電機控制。投影儀使用高分辨率連續掃描光束,提供光滑的聚焦、曝光和掃描。這可以進行精確的光刻,精度為1 µm或更高。光學模塊還利用高分辨率光學顯微鏡為光刻過程提供實時顯微圖像，用於精確的過程控制和反饋。舞臺模塊包含基板、蒙版和自動對齊機,以及許多其他組件,這些組件可以配置為啟用不同的光刻過程。該級包括一個閉環運動控制工具，配備精確的運動級，與絕對位置登記資產（APRS）相結合，以實現精確對準。這些元件允許在高達6-