二手 CANON PLA 501 FA #9395478 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
CANON PLA 501 FA是為生產用途而設計的高性能Mask Aligner。它提供高級流程功能,同時提供高吞吐量、高精度和易於操作。佳能PLA-501FA具有新設計的激光光學設備、低重復率激光源以及晶圓對準和加載的自動化過程。PLA 501FA的激光光學系統最大限度地促進了基板和掩模的精確對準。低重復率激光源產生快速而精確的曝光，導致基板和掩模在對準過程中的熱損害最小。自動化過程簡化了基板和掩模對齊,提供了高吞吐量。集成的晶片控制器允許最大程度地靈活地自動加載晶片，同時提高生產率和提高對準過程的均勻性。CANON PLA-501 FA能夠照射到25nm的間距,並且在覆蓋和聚焦方面都比最新的公差更好。該設備使用的曝光頭能夠進行1440 nm的曝光,可減少5倍。光學和電子技術指標旨在支持25到80,000 nm的脈沖速率。使用CANON PLA 501FA可以實現手動和自動對準,使其成為滿足生產要求的靈活可靠的機器。PLA-501FA還提供一系列安全和質量保證能力。它可以配置UltraViolet無油對齊工具。其先進的安全設計確保了所有組件在安全方面的最大程度的隔離。高級冷卻設備旨在確保模型在穩定的溫度下運行,以獲得最佳性能。PLA 501 FA可提供最大質量和吞吐量,且維護最少。其先進的特性使得它成為生產環境中晶圓和掩模對齊的絕佳選擇。PLA-501 FA具有出色的工藝能力、高精度曝光和內置的安全功能,可為生產需求提供經濟高效的解決方案。
還沒有評論