二手 CANON PLA 501 FA #9396180 待售
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CANON PLA 501 FA是一種頂級的半自動高分辨率掩模對準器，旨在將寫在膜抗蝕劑上的圖樣精確地傳遞到晶圓表面上。該設備擁有非常強大的10毫瓦He-Cd激光器，可以在晶片上生成始終如一的高質量和高分辨率圖像。為確保掩模正確對齊並精確打印,501 FA實現了由三個高精度微米、一個傾斜級和一個X-Y級組成的精細對齊系統。501 FA不僅具有出色的模式分辨率,而且由於其自動化的特性而易於使用。晶圓對準、晶圓夾緊、抗暴露等特性均由501 FA自動執行。此外，可以控制和調整暴露參數，以確保更精確的對準和暴露。為了獲得最佳的光聚合物曝光，501 FA采用4象限和8象限曝光級，可單獨或一起使用。這允許以最短的曝光時間曝光精確對齊的圖案，同時提供優越的圖案和叠加精度。在穩定性和耐用性方面，501 FA擁有剛性緊湊的機身和模塊化設計的主機機身，使其既耐振動又耐溫度變化。此外,它的內置冷卻系統保持一致的溫度,從而在很長一段時間內實現更加一致和可靠的性能。為了提高生產率和提高吞吐量,501 FA具有許多增強功能,如自動啟動、自動晶圓移位、多參數存儲、層映射和實時模式對齊。簡而言之,501 FA以其尖端、自動化功能、高分辨率激光光學和堅固的設計,體現了現代面罩對準器的特點。
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