二手 CANON PLA 501 #293592025 待售

CANON PLA 501是一款全場掩模對準器，用於光刻和半導體器件制造。它是一種高精度的非接觸對齊器，利用光束來實現精確的傳遞對準，允許對半導體基板上的特征進行精確的圖樣化。CANON PLA-501具有高分辨率掃描設備和高NA鏡頭,可實現動態範圍廣泛的強聚焦模式。所使用的1050nm波長激光器對比度高、聚焦深，能有效傳遞一系列不同的特征尺寸，精度高。該機的高精度、高分辨率工藝可以精確傳輸對齊的微光刻圖樣，可達到0.1um的特征尺寸。它的投影場相當大，可以處理多種模具尺寸。其光敏塗層系統具有均勻的塗層能力，薄膜厚度精度在2%以內。PLA 501具有CAD/CAM控制功能,並具有新的模式設置GUI,可減少設置時間和減少手動操作錯誤。它還包括一個具有自動對準、傾斜和旋轉功能的矩陣布局設施和一個特殊的晶圓映射功能，以便能夠快速準確地檢查晶圓的平坦度。PLA-501使用先進的蒸發冷卻裝置，以消除熱效應和運動失真，提供盡可能高的準確性和可重復性。機器以低頻運行，在操作過程中消除聲響。一個14段的輻照發生器產生均勻的輻照，並允許快速處理無維護操作。此外，掩模對準器還配備了先進的CMOS檢測器，提供高靈敏度和低暗流測量，有助於確保在任何時候的高端對準精度。CANON PLA 501是一款用戶友好型機器，也是高度可靠的，維護間隔長，考慮到其強大的互鎖機器和高速檢查功能。自動化的過程和易於使用的功能使CANON PLA-501高精度掩碼對齊器應用程序的理想選擇。