二手 CANON PLA 501 #293608761 待售

CANON PLA 501是一種掩模對準器，一種用於制造微電子和納米電子元件的光刻設備。它用於在矽片等基板上曝光光刻膠，用於創建集成電路，以及用於其他光電和微機械裝置的制造。CANON PLA-501具有緊湊的占地面積,旨在適應各種需要高精度和精確度的應用。其集成設計使其能夠融入現有生產線或現有生產設備。它具有大視野、高分辨率、高精度芯片制造所必需的兩個特點。此外，它的高精度真空卡盤消除漂移和振動，使其成為理想的小特征和高縱橫比特征。PLA 501具有7.3英寸寬的掩模，最小特征尺寸為0.25微米，對準精度為1/5,000 μ m。它配備了高速CPU和多個傳感器，使其能夠快速掃描和識別掩模圖樣，並以與電子束機相同的速度和精度精確對準。此外,還可以對PLA-501進行編程,以精確、統一的方式對齊多個掩碼。CANON PLA 501也有幾個進階的功能，讓它可以進一步減少對齊時間。這些包括掩模的自動定心、精確的俯仰控制、多個精確的對準點、精確的微點對準和激光對準，以及在一個過程中同時使用多個掩模的能力。CANON PLA-501也可以配置用於多種過程，包括正音抗拒應用、負音抗拒應用和曝光後烘烤。鑒於PLA 501的功能和特點,它是那些希望制造精確集成電路、光電或微機械設備的用戶的理想選擇。其高精度和精確度使其適合最苛刻的應用，以合理的成本提供一貫的高產量。