二手 CANON PLA 501 #293644255 待售

CANON PLA 501是一款用於制造半導體晶片的高端光刻掩模對齊器。對於需要快速準確地對齊和傳輸多個掩碼的客戶來說,它是一個經濟高效的解決方案。CANON PLA-501的最大場尺寸為25毫米x 25毫米，最多有13個花紋開口。該設計提供1 um的最小線寬,並在設備上提供0.5 um的功能。它還具有0.25 um的對準精度，吞吐量高達每小時20個晶圓。該系統還配備了先進的opto-mechanical設計，能夠準確定位和控制掩模場大小和圖案開口。PLA 501擁有兩個強大的高性能激光源生成線和成像光束。氣耳系統和高精度光學透鏡保證了口罩開口輪廓的高品質。它們還消除了人工對齊和操作造成的猜測和錯誤。PLA-501還設有口罩預處理站，用於控制口罩的質量和口罩的疏散。它還提供了自動控制和反饋，這使得在制造過程中很容易保證圖樣的質量和正確的對齊。總體而言，CANON PLA 501掩模對準器是一種高效可靠的工具，可以滿足半導體制造商的光刻需求。高精度和優異的性能,以及經濟實惠,使其成為任何需要快速準確地對齊和傳輸多個掩碼的設施的理想工具。